溫州流量計是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關熱導式流量開關。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能關閉時流量不能小于2%F.S。
溫州流量計檢查出現偏差方法的原因及方法：
1.零點是否有漂移，先接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；
2.氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修中心接受A/S；
3.質量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程。
溫州流量計是怎么讀數的?
流體自下而上流經錐管時，流體動能在浮子上產生的升力S和流體的浮力A使浮子上升，當升力S與浮力A之和等于浮子自身重力G時，浮子處于平衡，穩(wěn)定在某一高度位置上，錐管上的刻度指示流體的流量值。 轉子流量計，都有刻度。GPM=加侖每分鐘LPM=升每分鐘 眼睛齊平 轉子的上端平面讀刻度,從0刻度方向開始。在轉子流量計上讀出的數據為瞬時流量，要么是體積流量，要么為質量流量。如為質量流量，你先換算為體積流量(單位m3/s)，然后再根據轉子流量計的口徑用體積流量除以截面積就可以估算出來(注意：這里是估算，因為截面積不是線性的)
